Herkömmliches optisches Mikroskop	REM	Oberflächen-/ Rauheitsmessgerät	Laserscan- Mikroskop VK-X
Vorbereitung nötig	Nein	Ja	Nein	Nein
Hochauflösende Betrachtung mit großer Tiefenschärfe	Nein	Ja	Nein	Ja
Betrachtung in Farbe	Ja	Nein	Nein	Ja
3D-Messungen	Nein	Nein	Möglich	Ja

*Vergleich mit herkömmlichen optischen Mikroskopen, REMs und Oberflächen-/Rauheitsmessgeräten.

Optisches Mikroskop Die Fokussierung auf ein Messobjekt bei starker Vergrößerung ist schwierig.

REM Die Betrachtung kann nur in schwarz-weiß erfolgen, die Messobjektgröße ist begrenzt und die Vorbereitung ist zeitaufwändig.

Oberflächen-/Rauheitsmessgerät Bei der Messung von Erhebungen und Vertiefungen kann es zu Beschädigungen im Messbereich kommen.

OPTISCHES MIKROSKOP
Häufig ist die Auflösung begrenzt oder der Kontrast ist zu schwach. Disk-Pits (CD-Vertiefungen, 6000x)		Die Tiefenschärfe ist ebenso häufig begrenzt. Messerschneide (1000x)		Es ist schwierig, eine Nachverfolgbarkeit zu gewährleisten.

HOCHAUFLÖSENDE BILDER UND GROSSE SCHÄRFENTIEFE
Hohe Auflösung, 24.000x Vergrößerung Disk-Pits (6000x)		Vollständig fokussiertes Bild Messerschneide (1000x)		Nachverfolgbarkeit Messergebnisse, die mit der Modellreihe VK erzielt wurden, sind sehr zuverlässig und stimmen mit den US-Normen der Nachverfolgbarkeit überein.

REM
Nur Monochrombild Tintendruckbild (1000x)		Zeitaufwendige Vorbereitung und Betrachtung		Die Probengröße ist beschränkt Die Betrachtung ist manchmal aufgrund der Größe der Probe oder weil die Probe nicht in die Probenkammer passt, nicht möglich.

SCHNELLE 3D-FARBBILDER
HD-Echtfarbe Tintendruckbild (1000x)		Probenvorbereitung ist nicht erforderlich		Messproben jeder Größe und aus fast allen Materialien Aufgrund der abnehmbaren Kopfeinheit können verschiedene Probengrößen gemessen werden, sie kann aber auch in andere Geräte eingebaut werden. Zudem wird Fernbetrieb unterstützt.

OBERFLÄCHEN-/RAUHEITSMESSGERÄT
Probe kann zerkratzt werden, da Sie mit der Tastspitze in Kontakt gekommen ist Aluminiumoberfläche (200x) Bildschirm zeigt horizontale Vertiefunge		Es könnte schwierig sein, die gewünschten Stellen zu erreichen Bei Zielobjekten, wie den Kronen eines Schraubgewindes, kann es schwierig sein, den gewünschten Bereich des Zielobjektes mit einer Tastspitze zu treffen.		Die Auflösung ist durch den Kopfkreisdurchmesser der Tastspitze begrenzt Es ist nicht möglich, Oberflächen zu vermessen, die kleiner sind als die Tastspitze des Oberflächen-/ Rauheitsmessgerätes.

ZERSTÖRUNGSFREIE PROFILOMETRIE UND RAUHEITSMESSUNGEN
Kontaktlose Bauweise, die für weiche Zielobjekte verwendet werde kann/ schnelles finden des gewünschten Bereiches			Der Laserstrahldurchmesser ist kleiner als der Tastspitzendurchmesser Der Laserstrahldurchmesser ist wesentlich kleiner als eine Tastspitze des Oberflächen-/ Rauheitsmessgerätes, wodurch eine präzisere Messung von feinen Formen möglich ist.

Messung beliebiger Oberflächenformen
[Profil- und 3D-Messung] Messung von Höhe, Breite, Winkel und Querschnitt
Die Software VK-Analyzer kann Höhe, Breite, Querschnitt , Winkel oder Radius eines durch den Benutzer auf dem Bildschirm angegebenen geraden oder gekrümmten Abschnitts eines Querschnittprofils messen.
Messung von Höhe, Breite, Winkel und Querschnitt auf Leiterplatte (1000x)	Radiusmessung an einer Mikrolinse (1000x)

Flächen- und Volumenmessung
Die Software VK-Analyzer kann Volumen, Oberfläche sowie das Verhältnis zwischen Grundfläche und Oberfläche von Objekten in jedem beliebigen am Bildschirm ausgewählten Bereich vermessen.
Optischer Film (1000x)	Oberflächenmessungen bei einer Solarzelle (1000x)

Digitalisieren von Unterschieden bei der Oberflächenbeschaffenheit

[Vermessung von Linien- und Oberflächenrauheiten] Rauheitsmessung von Linien

Zeigt 2D- oder 3D-Bilder unter Vermeidung von Spitzen und Fremdkörpern an und misst anschließend die Rauheit des Messbereichs.

Struktur eines Elektronikbauteils (1000x)

Rauheitsmessung von Oberflächen
Es gibt sichtbare Unterschiede, aber worin bestehen sie und in welchem Umfang liegen sie vor? Durch Messen der Oberflächenrauheit können die durchschnittlichen Unterschiede durch numerische Werte ausgedrückt werden.
(Beispiel) Verdunkelung von Funktionsfolie (3000x).
Messobjekt A: Ra 1,5 µm	Messobjekt B: Ra 3,2 µm

Foliendickenmessungen über eine Fläche

Neben der Messung der Foliendicke auch die Erfassung der Formen auf der Vorder- und Rückseite

Einsetzbar bei der Analyse mehrerer Schichten an allen Punkten des Betrachtungsbereichs. Die Funktion kann 3D-Bilder und Querschnittsprofile einer ausgewählten einzelnen Schicht oder von mehreren Schichten anzeigen und Formen oder Foliendicken an vom Benutzer angegebenen Stellen messen.

Automatische Aufnahme und Messung mehrerer Messobjekte gleichzeitig
[Automatische Messung von Messobjekten mit regelmäßigem Muster] Automatische Messung von Breite und Höhe
Führt die automatische Messung der Breite und Höhe von Messobjekten durch, die gemäß den Einstellbedingungen ein regelmäßiges Muster besitzen. Da die Messung automatisch erfolgt, treten weniger Benutzerfehler auf, und der Vorgang kann schnell und präzise durchgeführt werden.
Resist-Muster (6000x)	Optischer Film (1000x)

Vollautomatische Messungen
Durchführung hochwertiger Messungen ohne Expertenwissen
Jahrelange Erfahrungen und technologische Fortschritte bilden die Grundlage für die Entwicklung von AI-Scan. Durch einfaches Klicken auf die Schaltfläche “Messung starten” führt die Funktion AI-Scan durch, bei denen die für das Messobjekt sachgerechten und geeigneten Einstellungen verwendet werden.
[Weltneuheit*] Die drei Funktionen von AI-Scan	Starten der Messung mit nur einem Klick
* Bei Markteinführung des Laserscanning-Mikroskops Keyence VK-X

1. AAG-Funktion
Wählt die beiden besten Einstellungen für die Empfindlichkeit des Lichtaufnahmeelements aus. Ermöglicht die Durchführung präziser Messungen an geneigten Messobjekten sowie an Messobjekten mit unterschiedlichem Kontrast. * AAG = Advanced Auto Gain (erweiterte automatische Verstärkung)
Herkömmliches Verfahren		AAG-Funktion
		Diamantwerkzeug (400x)

2. Automatische Einstellung der oberen und unteren Grenzwerte
Erkennt in allen Bildschirmbereichen automatisch die oberen und unteren Grenzwerte für das Messobjekt und stellt sie ein, scannt die Ebenen zwischen den Grenzwerten und fügt die Ergebnisse zu einer kompletten Vermessung des Objektes zusammen.
Automatische Abtastung durch das Objektiv		Erkennung der oberen und unteren Grenzwerte auf dem Bildschirm und automatische Einstellung als Messbereich

3. Doppelte Abtastung
Wird ein Bereich erkannt, der nicht korrekt erfasst wurde, dann werden durch automatisches Ändern der Einstellungen und erneutes Aufnehmen des Bereichs präzise Daten erfasst.
Bei einfacher Abtastung		Nach doppelter Abtastung
		Lötmetall (200x)

Breitfeld-Messungen

Einfache Hochgeschwindigkeits-Bildzusammensetzung und Breitfeld-Messungen mit WIDE-Scan

Problem 1

Wenn das Bildfeld klein ist, ist oft unklar, wo man sich auf dem Objekt befindet. Auch der umliegende Bereich soll betrachtet werden.

Einfache Hochgeschwindigkeits-Bildzusammensetzung und Breitfeld-Messungen mit WIDE-Scan Sie möchten die Vergrößerung erhöhen und die Betrachtung und Messung mit höherer Präzision durchführen? Ist das Bildfeld zu klein und ist es u. U. nicht eindeutig, welche Stelle Sie betrachten? Mit WIDE-Scan können Sie mühelos 3D-Bilder mit breitem Bildfeld und hoher Auflösung bei der gewünschten Vergrößerung erstellen. Die betrachtete Stelle ist dabei gestochen scharf.

Problem 2

Unabhängig davon, wo Sie Aufnahmen machen, unterliegen die Daten der örtlichen Messungen auf dem Objekt Schwankungen.

Bei Verwendung der WIDE-Funktion können mehrere Bereiche gleichzeitig gemessen und gemittelt werden. Erfolgt die Messung in einer begrenzten Anzahl von Bereichen, können die numerischen Werte in Abhängigkeit von der ausgewählten Stelle schwanken. Mit WIDE-Scan können Sie mühelos 3D-Bilder mit breitem Bildfeld und hoher Auflösung erstellen. Da mehrere Bereiche problemlos gemessen und gemittelt werden können, wird die Beurteilung nicht durch die Auswahl beeinflusst.